工業用液体・溶液の課題 | ソリューション |
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・製品品質(出荷時、受入時)の成分仕様以外の仕様書は存在してない・製造及び出荷後の外乱等による液体の変化を検知出来ない | ・MiMoiでは「成分仕様以外」の「状態」を測定できるため、その測定・分析によって品質管理に全く新しい、有益な仕様を追加できる可能性があります。・MiMoiを出荷前後に導入することで、入荷時に即出荷時のデータと比較することができ、新しい受入検査が可能となります。 |
クリティカルな不良解析のため
半導体業界からの要望 “Detection Sensitivity Improvement is needed”に答える現状の検査・分析技術(分子特定)を凌ぐ技術及び製品
半導体業界の課題 | ソリューション |
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・工程内で使用されるコアな溶液の品質管理が困難例:フォトレジスト材の品質不良で非常に大きな損失を被るケースの防止 | ・従来測定できない、ごく微量の混入物や混合状態の変化などの「状態」を、濃度によってスピッツやセルを使い分けることもでき、測定できる。 |
レジスト溶媒、半導体フォトリソ工程での洗浄やリンス、樹脂溶剤等で使用されるPGMEへの水の混入の検出